水蒸气的流量控制

水汽流量控制应用

半导体CVD的氧化、清洗、钝化工序都需要控制蒸汽的流量，需要流量控制。

蒸汽流量控制类型

水流量控制有两种类型：气体流量控制，其中水由气体质量流量控制器直接控制，以及直接汽化，其中通过控制液体的流速使受控液体汽化。

H2O气体（水蒸气）流量控制

压差和耐热温度对于使用气体质量流量控制器控制气体（蒸汽）的流量很重要。

MFC烘烤质量流量控制器一次侧装满水的密闭容器被加热，根据温度产生的蒸汽从密闭容器流向低压室（二次侧）。

此时，由于 H2O 密闭容器与腔室之间的压差必须等于或高于质量流量控制器的工作压力，因此无法控制流量。

一般水蒸气的流量控制将水的密闭容器加热到100℃附近，蒸气压随温度升高（蒸气压曲线），所以增加密闭容器的压力以获得所需的压差质量流量控制器。可以做到。由于产生的蒸汽由耐热温度为100℃以上的高温质量流量控制器控制，因此蒸汽质量流量控制器常选用耐热温度高的高温质量流量控制器，但是因为特殊所以是标准品（常温规格）。）比较贵。

然而，即使在室温（25°C）下，水的蒸气压也约为 3 kPa。换言之，如果二次侧处于真空状态，并且工作压力是小于3kPa的低压差质量流量控制器，即使在室温下也可以控制流量。由于低压差质量流量控制器（MC-3102S）的工作压力低至800 Pa，因此即使在室温下也可以控制水蒸气的流量。