专业流体控制领域供应商
关于我们
专业的流体控制领域供应商
上海蔚仕流体控制有限公司是集产品研发、制造及销售公司。专注气体、液体的精密控制、移送和供应。是多家世界著名品牌产品的代理商,服务对象涉及微电子、新能源、环境科学、医疗等诸多领域。分布全国的销售网络,可为客户提供及时服务和技术支持。
新品上市

无载气汽化器

日本Linetc公司采用独有技术研发的无载气液体蒸发器,可满足特殊工艺需求,通过扩大管路的热交换面积,实现了TEOS最大5g/min的汽化,具有体积小、便于安装、易维护的特点,阀门紧邻腔体构造,响应时间提高。

等离子分析仪

针对等离子体的监测我们产品集合包括:朗缪尔探针【等离子密度、电子温度等离子体电位】离子能量分析仪【等离子能量、离子流量】、以及射频探测器【射频源进入腔体的电压、相位、功率谐波阻抗deng 】、射频异常探测器【等离子在工艺中的放电异常】

产品展示
流量控制器-气体、液体、液化气
Mass Flow Controller
经过30年发展,Lintec的高精度、高速响应的气体、液体流量控制器和高纯液体汽化器,始终为流体控制领域贡献着最尖端的技术。
服务行业包括半导体、液晶、一般工业、医疗食品等行业体的CVD、ALD、PVD、表面处理、焊接、高温蒸汽灭菌等。
气体循环泵
Metal Bellow Pump
低漏率、He漏率 < 1x10-8Pa.m3/s 长寿命、免维护、无需供油、易维护、耐腐蚀、高压缩比 适用于腐蚀性、稀有气体、放射性气体介质
金属波纹管泵
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最具性价比的进口RF电源国产替代方案
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等离子体的系统测试方案,包括朗缪尔探针、射频探测器、离子浓度仪、射频异常感知器..