高速流量控制器
日本Linetc公司采用新推出的MC-7000系列高速气体质量流量控制器,采用独有的非接触式热式传感器搭载压电阀,实现了响应时间≤100ms的高速应答,通讯方式有Ehher-CAT和D-NET方式可选,控制精度≤1%S.P.
等离子分析仪
等离子体监测:朗缪尔探针【等离子密度、电子温度等离子体电位】离子能量分析仪【等离子能量、离子流量】、以及射频探测器【射频源进入腔体的电压、相位、功率谐波阻抗deng 】、射频异常探测器【等离子在工艺中的放电异常】
商用飞机用气体压缩机