臭氧O3气体用质量流量控制器

臭氧O3的作用：

O3（臭氧）是由三个氧原子连接而成的分子。 覆盖地球表面的臭氧层也是O3的集合。

O3是一种不稳定的物质，很容易分解成氧分子和氧原子。 即使在常温下也不能长时间保持，而且随着温度的升高，分裂的速度也会加快。 虽然是这样的O3，但分解出来的氧原子具有很强的氧化力，氧化力仅次于氟，具有杀菌、除臭等作用。 此外，O3 可以说是一种环境友好的氧化剂，因为即使它分解，也只会形成氧分子。 O3是一种具有强氧化性和环境友好性的物质，用于医疗和水处理等各种场所。 在半导体制造过程中，它被用作清洁剂、抗蚀剂去除和成膜的氧化剂。

O3 的应用很广泛，但 O3 的流量方面并不容易。 质量流量控制器一般采用热传感器方式。 然而，正如所解释的，当施加温度时，O3 分解得更快。致使O3分解和反应，失去想要的的氧化力。

Lintec 的质量流量控制器（MC-3000L 系列）采用独特的环境温度补偿型流量传感器，传感器温度低，即使使用易热解的 O3 也可以控制流量。 此外，O3不易分解，可抑制气体接触部分的氧化，保证运行一年。